使用M/31102橡膠氣囊的常識
M/31102橡膠氣囊一般由奧氏體材料或根據客戶(hù)要求制造。尺寸選擇合理，應力合適，活塞桿行程尺寸8mm的余量。選用球形橡膠氣囊和鉸鏈式波紋管，應加裝導向支架，避免波紋管失去穩定性。選用其他方式，補償管道太長(cháng)時(shí)，還應提供導向支撐。補償管道較長(cháng)時(shí)要采用減小磨擦。
橡膠氣囊的密封結構設計大多選用結構，兩邊，端面為光滑突面，兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴密。隔離外部環(huán)境對印壓光刻機的影響，能夠保護壓印機不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統的減振原理，確定了剛度及減振系統的共振頻率，并與實(shí)際減振系統的實(shí)驗結果相符合，說(shuō)明印壓光刻機低頻減振設計合理可行。
M/31102橡膠氣囊能夠同時(shí)承受多向載荷，進(jìn)而簡(jiǎn)化系統結構，具有很強的內阻。對于吸收忽然沖擊、高頻振動(dòng)和隔音有很好的效果，形狀不限，各方向剛度可根據設計要求隨意選擇，盡管彈性模量小的邊沿尺寸和曲囊直徑，但可以得到較大的彈性變形，容易達到理想的非線(xiàn)性特點(diǎn)。