臺積電(TSMC)半導體設備氣動(dòng)隔振器主要的功能之一是避震，而這個(gè)功能的實(shí)現取決于扭簧內部結構外部構造的形態(tài)以及所使用的材料。因此，在設計這個(gè)產(chǎn)品時(shí)，需要將材料的性能融入結構變化中，其配方設計也是至關(guān)重要的一個(gè)環(huán)節。
在臺積電(TSMC)半導體設備氣動(dòng)隔振器材料配方設計中，關(guān)鍵的判斷是操縱重要材料的性能，其次是明確提出橡膠材料的結構力學(xué)性能，研究每個(gè)元件的應變力所引起的裁切應變力以及整個(gè)變形構造體的變形轉變。材料的穩定拉伸應力代表著(zhù)氣動(dòng)隔振器的應力和應變特點(diǎn)。因此，相對穩定的拉伸應力被用作材料的機器性能指標。碳黑被用作提高橡膠材料的張力，并降低熱值。拉伸應力的降低可減少穩定負載中的動(dòng)態(tài)變形和形變。
盡管常用生橡膠的種類(lèi)不同，但臺積電(TSMC)半導體設備氣動(dòng)隔振器每個(gè)元件的粘結層的拉應力都需要有效分布。氣動(dòng)隔振器的氣囊硫化是一個(gè)至關(guān)重要的全過(guò)程，因此，在制定全部配方時(shí)，需要根據每一層橡膠的升溫情況明確正硫化時(shí)間，并盡可能保持長(cháng)的硫化曲線(xiàn)圖。橡膠材料的硫化水平對于氣動(dòng)隔振器的整體性能也非常重要，因此應該將這一因素考慮進(jìn)去。
通常，臺積電(TSMC)半導體設備氣動(dòng)隔振器每個(gè)橡膠層的溫度都會(huì )被準確測量，將半成品加工等溫過(guò)程的熱歷史時(shí)間轉換為硫化時(shí)間或等效電路硫化時(shí)間，以明確半成品加工的反硫化標準和實(shí)際每個(gè)橡膠層的硫化水平是否匹配。
如果橡膠被部分硫化，將會(huì )導致更高的發(fā)熱量以及橡膠層之間的粘合力增強。如果硫含量過(guò)高，橡膠材料的性能就會(huì )下降，對氣動(dòng)隔振器產(chǎn)品的質(zhì)量構成危害。此外，由于氣動(dòng)隔振器的形態(tài)、規格和用途均不同，因此每個(gè)橡膠層的秘方也有所不同。
